Physik Instrumente（PI）線性傳感器

PI(Physik Instrumente)在所有重要市場中都擁有自己的銷售和服務(wù)辦事處。此外，公司還在三大洲設(shè)置了納米計量測試裝置。PI Shanghai和PI USA擁有額外的發(fā)展和制造資源，可實(shí)現(xiàn)對定制設(shè)計規(guī)格的快速當(dāng)?shù)胤磻?yīng)。

精密加工到數(shù)字與模擬控制電路，從亞納米級的電容位置傳感器到  的PICMA 壓電陶瓷促動器，PI已掌握全套關(guān)鍵技術(shù)，*的技術(shù)實(shí)力推動著微米納米定位技術(shù)不斷地向前沿發(fā)展，也使得PI成為眾多高科技企業(yè)、較有名實(shí)驗(yàn)室的合作伙伴。

N-565 帶線性編碼器實(shí)現(xiàn)  高精度

具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器

N-565

具有  高精度的線性平臺

? 超高精度：  小位移為2納米，直接測

量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米

? 長行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米

? 關(guān)機(jī)后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生

? PiezoWalk技術(shù)帶來長使用壽命和高可靠

性

? 緊湊型設(shè)計：寬為65毫米、高為20毫米

NEXACT參考級線性平臺

帶NEXACT

PiezoWalk驅(qū)動器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承

，可實(shí)現(xiàn)  高精度。

PiezoWalk技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨

率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動原理，其還能實(shí)現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機(jī)動化驅(qū)動器原理，

PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個

動輪步進(jìn)。靜止?fàn)顟B(tài)下，PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動器自鎖，不消耗能量，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。此外，由于信號

周期短、信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應(yīng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動

化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。.

訂購信息

N-565.160

精密線性定位平臺，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動力為10牛，尺寸為65 × 80 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動器

N-565.260

精密線性定位平臺，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動力為10牛，尺寸為65 × 110 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動器

N-565.360

精密線性定位平臺，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動力為10牛，尺寸為65 × 160 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動器

產(chǎn)品描述：

1. 緊湊型設(shè)計：表面63毫米×63毫米

2. 步進(jìn)電機(jī)和閉環(huán)直流電機(jī)

3. 可選配線性編碼器用于直接位置測量

4. 交叉滾柱導(dǎo)軌

5. 非接觸式參考和限位開關(guān)

緊湊型Z向位移臺，用途廣泛

帶皮帶驅(qū)動的折疊驅(qū)動，Z向位移臺結(jié)構(gòu)緊湊?？砂惭b在帶M6 50 毫米 × 50 毫米連接間距的線性平臺上（如L-406）。

位置測量

增量線性編碼器（可選配步進(jìn)電機(jī)）
非接觸式光學(xué)參考和限位開關(guān)
 

交叉滾柱導(dǎo)軌

對于交叉滾柱導(dǎo)軌，滾珠導(dǎo)軌中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱導(dǎo)軌還具有高導(dǎo)向精度和高負(fù)載能力的特征。力導(dǎo)向滾動體保持架防止保持架蠕變。

驅(qū)動器

兩相步進(jìn)電機(jī)或閉環(huán)直流電機(jī)
空回補(bǔ)償型滾珠絲杠
 

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

應(yīng)用領(lǐng)域

研究, 半導(dǎo)體技術(shù), 光子, 自動化

電機(jī)類型 :兩相步進(jìn)電機(jī)/直流電機(jī)

工作溫度范圍 : 5 到 40°C

濕度 : 20%至80%相對濕度，無凝結(jié)

材料 : 陽極氧化鋁、鋼

質(zhì)量 : 0.6千克

移動質(zhì)量 : 0.18千克

電纜長度 ： 0.5米

連接

HD Sub-D 26針（公頭）（電機(jī)）
HD Sub-D 26針（公頭）（電機(jī)和編碼器）
 

*推薦控制器：

C-663·12單軸
SMC Hydra（雙軸）
帶C-663·12C885的C-885（多達(dá)20軸）
ACS模塊化控制器
 

德國PI Z向位移臺 L-306 緊湊型精密多軸組合

Physik Instrumente（PI）線性傳感器